Аптычная канструкцыя мае шырокі спектр прымянення ў галіне паўправаднікоў. У фоталітаграфічнай машыне аптычная сістэма адказвае за факусоўку светлавога прамяня, які выпраменьваецца крыніцай святла, і праецыраванне яго на крэмніевую пласціну для экспазіцыі схемы. Такім чынам, распрацоўка і аптымізацыя аптычных кампанентаў у фоталітаграфічнай сістэме з'яўляецца важным спосабам паляпшэння прадукцыйнасці фоталітаграфічнай машыны. Ніжэй прыведзены некаторыя з аптычных кампанентаў, якія выкарыстоўваюцца ў фоталітаграфічных машынах:
Мэта праекцыі
01 Праекцыйны аб'ектыў — ключавы аптычны кампанент літаграфічнай машыны, які звычайна складаецца з шэрагу лінзаў, у тым ліку выпуклых, увагнутых і прызмавых.
02 Яго функцыя заключаецца ў сцісканні схемы на масцы і факусоўцы яе на пласціне, пакрытай фотарэзістам.
03 Дакладнасць і прадукцыйнасць праекцыйнага аб'ектыва аказваюць вырашальны ўплыў на раздзяляльную здольнасць і якасць выявы літаграфічнай машыны
Люстэрка
01 Люстэрківыкарыстоўваюцца для змены кірунку святла і накіравання яго ў патрэбнае месца.
02 У літаграфічных машынах EUV люстэркі асабліва важныя, бо EUV-святло лёгка паглынаецца матэрыяламі, таму неабходна выкарыстоўваць люстэркі з высокай адбівальнай здольнасцю.
03 Дакладнасць паверхні і стабільнасць адбівальніка таксама аказваюць вялікі ўплыў на прадукцыйнасць літаграфічнай машыны.
Фільтры
01 Фільтры выкарыстоўваюцца для выдалення непажаданых даўжынь хваль святла, паляпшаючы дакладнасць і якасць працэсу фоталітаграфіі.
02 Выбраўшы адпаведны фільтр, можна гарантаваць, што ў літаграфічную машыну будзе трапляць толькі святло пэўнай даўжыні хвалі, тым самым паляпшаючы дакладнасць і стабільнасць працэсу літаграфіі.
Прызмы і іншыя кампаненты
Акрамя таго, літаграфічная машына можа выкарыстоўваць іншыя дапаможныя аптычныя кампаненты, такія як прызмы, палярызатары і г.д., для задавальнення канкрэтных патрабаванняў літаграфіі. Выбар, праектаванне і выраб гэтых аптычных кампанентаў павінны строга адпавядаць адпаведным тэхнічным стандартам і патрабаванням, каб забяспечыць высокую дакладнасць і эфектыўнасць літаграфічнай машыны.
Карацей кажучы, прымяненне аптычных кампанентаў у галіне літаграфічных машын накіравана на павышэнне прадукцыйнасці і эфектыўнасці вытворчасці літаграфічных машын, тым самым падтрымліваючы развіццё мікраэлектроннай прамысловасці. З пастаянным развіццём літаграфічных тэхналогій аптымізацыя і ўкараненне аптычных кампанентаў таксама забяспечаць большы патэнцыял для вытворчасці мікрасхем наступнага пакалення.
Каб атрымаць больш інфармацыі і кансультацый экспертаў, наведайце наш вэб-сайт па адрасеhttps://www.jiujonoptics.com/каб даведацца больш пра нашы прадукты і рашэнні.
Час публікацыі: 02 студзеня 2025 г.
