Аптычная канструкцыя мае шырокі спектр прыкладанняў у паўправадніковым полі. У машыне фоталітаграфіі аптычная сістэма нясе адказнасць за засяроджванне святлавага прамяня, які выпраменьваецца крыніцай святла і праектавання яго на крэмнійную пласціну, каб выкрыць схему. Такім чынам, праектаванне і аптымізацыя аптычных кампанентаў у сістэме фоталітаграфіі - важны спосаб павышэння прадукцыйнасці машыны фоталітаграфіі. Ніжэй прыведзены некаторыя з аптычных кампанентаў, якія выкарыстоўваюцца ў фоталітаграфічных машынах:
Мэта праекцыі
01 Мэтай праекцыі з'яўляецца ключавы аптычны кампанент у машыне літаграфіі, якая звычайна складаецца з шэрагу лінзаў, уключаючы выпуклыя лінзы, увагнутыя лінзы і прызмы.
02 Яго функцыя заключаецца ў тым, каб скараціць малюнак ланцуга на масцы і засяродзіць яго на пласціны, пакрытым фотарэзістам.
03 Дакладнасць і выкананне мэты праекцыі аказваюць вырашальны ўплыў на дазвол і якасць візуалізацыі машыны літаграфіі
Люстра
01 Люстэрківыкарыстоўваюцца для змены кірунку святла і накіравання яго ў правільнае месца.
02 У машынах Lithography EUV люстэркі асабліва важныя, паколькі святло EUV лёгка паглынаецца матэрыяламі, таму люстэркі з высокай адбівальнай здольнасцю павінны быць выкарыстаны.
03 Дакладнасць паверхні і стабільнасць адбівальніка таксама аказваюць вялікі ўплыў на прадукцыйнасць літаграфічнай машыны.
Фільтры
01 Фільтры выкарыстоўваюцца для выдалення непажаданых даўжынь хваль святла, павышаючы дакладнасць і якасць працэсу фоталітаграфіі.
02 Выбраўшы адпаведны фільтр, можна пераканацца, што толькі святло пэўнай даўжыні хвалі трапляе ў машыну літаграфіі, тым самым павышаючы дакладнасць і стабільнасць працэсу літаграфіі.
Прызмы і іншыя кампаненты
Акрамя таго, машына для літаграфіі таксама можа выкарыстоўваць іншыя дапаможныя аптычныя кампаненты, такія як прызмы, палярызатары і г.д., для задавальнення пэўных патрабаванняў літаграфіі. Выбар, распрацоўка і выраб гэтых аптычных кампанентаў павінны строга прытрымлівацца адпаведных тэхнічных стандартаў і патрабаванняў, каб забяспечыць высокую дакладнасць і эфектыўнасць машыны літаграфіі.
Такім чынам, прымяненне аптычных кампанентаў у галіне літаграфічных машын накіравана на павышэнне прадукцыйнасці і эфектыўнасці вытворчасці літаграфічных машын, што падтрымлівае развіццё вытворчай галіны мікраэлектронікі. Пры пастаянным развіцці тэхналогіі літаграфіі аптымізацыя і інавацыі аптычных кампанентаў таксама забяспечаць большы патэнцыял для вырабу чыпаў наступнага пакалення.
Для атрымання дадатковай інфармацыі і рэкамендацый экспертаў наведайце наш вэб -сайт па адрасеhttps://www.jiujonoptics.com/Каб даведацца больш пра нашы прадукты і рашэнні.
Час паведамлення: студзень-02-2025
