Аптычны дызайн мае шырокі спектр прымянення ў галіне паўправаднікоў. У машыне для фоталітаграфіі аптычная сістэма адказвае за факусоўку светлавога прамяня, выпраменьванага крыніцай святла, і праецыраванне яго на крамянёвую пласціну для агалення ўзору схемы. Такім чынам, распрацоўка і аптымізацыя аптычных кампанентаў у сістэме фоталітаграфіі з'яўляецца важным спосабам павышэння прадукцыйнасці фоталітаграфічнай машыны. Ніжэй прыведзены некаторыя з аптычных кампанентаў, якія выкарыстоўваюцца ў машынах для фоталітаграфіі:
Мэта праекцыі
01 Праекцыйны аб'ектыў - гэта ключавы аптычны кампанент у літаграфічнай машыне, які звычайна складаецца з шэрагу лінзаў, уключаючы выпуклыя лінзы, увагнутыя лінзы і прызмы.
02 Яго функцыя складаецца ў тым, каб паменшыць малюнак схемы на масцы і сфакусаваць яго на пласціне, пакрытай фотарэзістам.
03 Дакладнасць і прадукцыйнасць праекцыйнага аб'ектыва аказваюць вырашальны ўплыў на раздзяляльнасць і якасць выявы літаграфічнай машыны
Люстэрка
01 Люстэрківыкарыстоўваюцца для змены кірунку святла і накіравання яго ў патрэбнае месца.
02 У EUV-літаграфічных машынах люстэркі асабліва важныя, таму што EUV-святло лёгка паглынаецца матэрыяламі, таму трэба выкарыстоўваць люстэркі з высокай здольнасцю адбіваць.
03 Дакладнасць паверхні і стабільнасць адбівальніка таксама аказваюць вялікі ўплыў на прадукцыйнасць літаграфічнай машыны.
Фільтры
01 Фільтры выкарыстоўваюцца для выдалення непажаданых хваль святла, паляпшаючы дакладнасць і якасць працэсу фоталітаграфіі.
02 Выбраўшы адпаведны фільтр, можна гарантаваць, што ў літаграфічную машыну паступае толькі святло пэўнай даўжыні хвалі, што павышае дакладнасць і стабільнасць працэсу літаграфіі.
Прызмы і іншыя кампаненты
Акрамя таго, літаграфічная машына можа таксама выкарыстоўваць іншыя дапаможныя аптычныя кампаненты, такія як прызмы, палярызатары і г.д., каб задаволіць пэўныя патрабаванні да літаграфіі. Выбар, праектаванне і выраб гэтых аптычных кампанентаў павінны строга адпавядаць адпаведным тэхнічным стандартам і патрабаванням, каб забяспечыць высокую дакладнасць і эфектыўнасць літаграфічнай машыны.
Падводзячы вынік, прымяненне аптычных кампанентаў у галіне літаграфічных машын накіравана на павышэнне прадукцыйнасці і эфектыўнасці вытворчасці літаграфічных машын, тым самым падтрымліваючы развіццё прамысловасці мікраэлектронікі. З бесперапынным развіццём тэхналогіі літаграфіі аптымізацыя і інавацыі аптычных кампанентаў таксама забяспечаць большы патэнцыял для вытворчасці чыпаў наступнага пакалення.
Каб атрымаць дадатковую інфармацыю і парады экспертаў, наведайце наш вэб-сайт па адрасеhttps://www.jiujonoptics.com/каб даведацца больш аб нашых прадуктах і рашэннях.
Час публікацыі: 2 студзеня 2025 г
